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        日本MEG對齊單元

        • 產(chǎn)品型號:X9113A-C
        • 更新時間:2025-11-17

        簡要描述:日本MEG對齊單元X9113A-C用于光學或機械系統(tǒng)的精密對齊(Alignment),常見于半導體設備、激光加工系統(tǒng)、高精度檢測儀器等需要微米級定位的場景。
        精密儀器制造商,專注于光學、電子測量設備。
        緊湊節(jié)省空間,高速運行,備有帶馬達型號、外部驅(qū)動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。

        產(chǎn)品詳情

        深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9113A-C 產(chǎn)品特點如下:

        日本MEG對齊單元X9113A-C用于光學或機械系統(tǒng)的精密對齊(Alignment),常見于半導體設備、激光加工系統(tǒng)、高精度檢測儀器等需要微米級定位的場景。

        精密儀器制造商,專注于光學、電子測量設備。

        小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能,緊湊節(jié)省空間,高速運行,備有帶馬達型號、外部驅(qū)動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等

        備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅(qū)動方式等多種種類。

        小型類型的基本機構(gòu)原封不動,實體從上側(cè)用M3螺絲能安裝的模型,小型A型還備有可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達型號。

        這是一種小型類型,有多年的經(jīng)驗,本體安裝,利用本體背面的M2抽頭,備有帶M2螺絲5相步進馬達和外部驅(qū)動的連接類型。

        小型A型的基本機構(gòu)是原封不動地從本體側(cè)面拿出鰭片的模型,主體上面沒有角孔,小型AP類型還準備了可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達型號,主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊。

        核心功能

        高精度調(diào)整:通過精密機械結(jié)構(gòu)或壓電驅(qū)動實現(xiàn)亞微米級(可能達0.1μm以下)的位置校準。

        多軸控制:可能支持X/Y/Z三軸或傾斜(θx/θy)方向的獨立調(diào)整。

        集成傳感器:部分型號內(nèi)置位移傳感器或光學編碼器,實時反饋位置信息。

        兼容性:適配多種光學元件(透鏡、反射鏡)或機械組件。

        應用領(lǐng)域

        半導體制造:光刻機組件對齊。

        激光加工:光束路徑校準。

        科研儀器:干涉儀、顯微鏡的樣品臺定位。

        產(chǎn)品特點

        剛性設計:鋁合金或不銹鋼材質(zhì),確保穩(wěn)定性。

        防震設計:減少環(huán)境振動影響。

        模塊化:可與其他MEG單元組合使用(如旋轉(zhuǎn)臺X系列)

        技術(shù)參數(shù)

        項目參數(shù)
        調(diào)整范圍±5mm(線性軸)
        分辨率0.1μm
        重復精度±0.2μm
        負載能力5kg(需確認)
        驅(qū)動方式手動微調(diào)或電動驅(qū)動
        接口RS-232/USB

        日本MEG對齊單元

        規(guī)格

        日本MEG對齊單元

        公司代理和銷售優(yōu)勢品牌

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